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艾麗卡特ALICAT真空鍍膜、濺射質量流量計/流量控制器
真空鍍膜系統內凈化氣體和反應氣體的輸入需要快速的響應和精確的控制。艾里卡特ALICAT質量流量控制器和壓力控制器具有快速的控制響應速度和EtherCAT通訊模式。有了這種EtherCAT通訊模式,將不再需要EtherCAT轉換器,儀表也能更輕松地整合到工業PLC網絡中。適用于CVD和ALD過程的防腐流量控制器化學蒸汽沉積(CVD)和原子層沉積(ALD)過程所用腐蝕性氣態和液態前驅體需要不會隨時間推移而被腐蝕的質量流量儀表。ALICAT艾麗卡特S系列(MC、MCES、MCVS)...
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Alicat質量流量計,自由設置混合氣體操作步驟
Alicat艾麗卡特質量流量計,內置多達130種標定氣體,支持儀表面板按鍵快速切換,也可通過軟件操作,自定義混合氣體。支持最多可以自定義保存20組混合氣體,每組最多可以自由添加2-5種氣體,每種氣體比例從0.01%-99.99%可自由設定。視頻為操作步驟。ALICAT產品特點:1、測量和控制范圍0-0.5SCCM-5000SLPM2、無需預熱、相應時間3、測量精度可達0.4%R.D.+0.2F.S.4、量程比高達10000:15、本體同時顯示質量流量、體積流量、絕壓、溫度參數...
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GRYLLS格里爾斯大量程質量流量計 流量控制器
GRYLLS格里爾斯差壓式質量流量計/控制器,大量程2000SLM,混合氣體介質85%C02二氧化碳+15%N2氮氣,多氣體系數切換,長期穩定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定,可以同時顯示和輸出:瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。0.5sccm–6000slm全量程Grylls6601系列差壓式質量流量計采用無熱漂移,無響應滯后的差壓質量測量原理,無熱漂移,可以忽略的溫移和時漂,長期穩定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程...
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GRYLLS格里爾斯 差壓式質量流量計/控制器
大量程差壓式質量流量計/控制器,量程2000SLM,混合氣體介質為:85%C02二氧化碳+15%N2氮氣,多氣體系數切換,長期穩定性0.1%F.S/年,準確度1.0%,量程可在100:1范圍內按鍵設定,無需標定,可以同時顯示和輸出:瞬時流量、累計流量、壓力、溫度等。GRYLLS格里爾斯差壓式質量流量計采用的差壓式原理(內部補償型層流差壓技術),利用泊肅葉定律,依托精密的機械制作工藝及先進的電子技術,來進行內部補償因壓力和溫度引起的體積流量和質量流量的差異,對用戶標準工況進行修...
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GRYLLS格里爾斯科里奧利式質量流量控制器
GRYLLS格里爾斯8100系列,科里奧利式可(科氏原理)質量流量控制器,測量液體介質:HA,定制大量程600kg/h,采用了一個高精度比例控制閥和一個靈活的讀出裝置來測量、控制氣體和液體流量。精度±0.2%F.S.,控制響應時間Grylls8100系列科氏質量流量計包含一個單回路傳感器,構成振蕩系統的一部分。當流體流經傳感器回路,科里奧利力引起可變相移,傳感器檢測到該相移并傳輸到集成的電路板上的DSP處理器進行運算。由此可變相移產生的輸出信號與實際質量流量形成...
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Alicat 250slpm耐腐蝕的控制器+外接顯示屏
Alicat250slpm耐腐蝕的控制器+外接顯示屏ALICAT質量流量計產品特點操作簡單Alicat質量流量計(M系列)作為一個獨立設備,帶有多功能數字顯示屏,用戶可通過面板按鈕調節參數,無需連接但腦或其他任何復雜的編程軟件。測量標準型Alicat質量流量計(M系列)的精度為±(0.8%Rdg+0.2%F.S.),增加高精選配項則可達±(0.4%Rdg+0.2%F.S.)。ALICAT高精度質量流量計(M系列)本身耗電極小,從而降低了系統運營的成...
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與傳統流量計相比,耐高溫質量流量計有哪些優勢?
隨著工業生產的不斷發展,對于高溫介質的流量測量需求也越來越多,這就要求流量計具有耐高溫的特性,耐高溫質量流量計在工業生產過程中能夠穩定、準確地測量高溫介質的流量,因此被廣泛應用于石化、冶金、電力、化工等行業領域。該流量計的核心部件是傳感器和測量流量的管道,傳感器是通過感應流體流動的物理量來測量流量的,高溫介質會對傳感器的電路產生影響,影響其滿足特定測量要求的能力,對此,傳感器的材質、制造工藝等進行優化改進。同時,耐高溫流量計使用的管道材質也要考慮到高溫介質對其產生的影響,這就...
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耐高溫質量流量計對流體計量難的解決問題
耐高溫質量流量計是基于流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款智能化、高精度的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。在輸出方面,帶有工業級液晶觸控顯示屏,具備流量設置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇:4-20mA和1-5V模擬信號,以及RS485等數字通信方式。耐高溫質量流量計的優點:1、能夠直接測量質量流量,不受溫度、壓力、粘度和密度等...
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質量流量計常見的幾種應用原理優劣勢對比
一、熱式原理質量流量計優勢:1:耐強腐蝕/高壓2:長期穩定性好3:上市時間長不足:怕水分代表品牌:美國MKS\BROOKSAALBORG,日本HORIBA,德國寶德,國產格里爾斯GRYLLS二、壓差式原理質量流量計優勢:1:精度高2:速度快3:不怕水分不足:1:有些強腐蝕氣體,不能制作2:不能耐高壓代表品牌:美國ALCIAT-20KG,美國AALBORG,國產格里爾斯GRYLLS三、科里奧利(科氏)質量流量計目前優秀的測量原理,集熱式和壓差式的優勢價格比其它原理的高代表品牌:...
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數字式質量流量控制器需要控制氣體,以防止工作制氣體
數字式質量流量控制器被廣泛地運用于各種工業領域,從太陽能電池、燃料電池的研究和制造,到半導體、液晶面板和電子行業中使用的發光二極管(LED)的研究和制造。在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進行準確的測量和控制,顯著地提高了工作效率,進而節約了能源和提高了生產力。數字式質量流量控制器的特點:1、高精度度的數據。當然,使用質量流量控制器是為了獲得良好的監測數據和高精度,因此廣泛應用于一些特殊的氣體行業。需要控制氣體,以防止工作制氣體。這也要求質量流量控制器具有較高的數據準確性,以...
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質量流量計故障怎么辦?
質量流量計是一個準確、快速、高效的流量測量儀表,它直接測量通過流量計的介質的質量流量,還可測量介質的密度及間接測量介質的溫度。它是采用感熱式測量,通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量,因為是用感熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。質量流量計的精度高,優點多,在許多場合起到了重要的作用,但在實際應用中也出現過一些問題,下面就出現的問題進行分析和處理。硬件故障若出現誤差偏大,積算器顯示不亮或不增值,顯示器空白位等現象,其原因:1、安裝不規范。可...
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液體質量流量控制器主要分為哪幾種類型?
液體質量流量控制器用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統,毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。液體質量流量控制器一般分為以下幾種類型:1.容積式流量計,又稱定排量流量計。它利用機械測量元件把流體連續不斷的分割成單個已知的體積部分,根據測量室逐次重復的充滿和排放該體積部分流體的次數來測量流體體...
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